自动研磨机

自动研磨抛光机

LP061精密研磨抛光机为单工作站台式机

．能够完成6英寸及以下尺寸样品的处理
．加工出来的样品具有高平整度、高表面光洁度等特点
．适合在半导体、光电、光学等应用领域
．LP061研磨/抛光的所有功能，包括盘转速、摆臂设定、滴料速度等均可控
．通过触摸屏进行参数等控制和设定。

 机械研磨后误差精度

．50 mm晶圆的总厚度偏差（TTV）在±1μm以内
．75 mm晶圆的总厚度偏差（TTV）在±2μm以内
．100 mm晶圆的总厚度偏差（TTV）在±3μm以内

机械化学抛光后误差精度
．50 mm晶圆的总厚度偏差（TTV）在±1μm以内
．75 mm晶圆的总厚度偏差（TTV）在±2μm以内
．100 mm晶圆的总厚度偏差（TTV）在±3μm以内