自动搓针机
操作容易稳定、适合各种类型之探针卡搓针
产品规格
.机台:配用於大/小尺寸Probe Card双排螺旋孔规格之花岗岩基座
.尺寸: 350 mm X 550mm
.旋转平面度控制 10 um 以内
.载台平面精度 5 um 以内
.日本精密级滑轨,精密度 < 1.0 um
.C5 等级精密螺杆(18 um @ 100 um) 重复性: 1 um
.花岗岩盘面,表面镜面可研磨,可180度旋转(可选择金属结构台面)
.搓针机台附装 MASKE Shuttle Devise,可兼具反相调针之弹性使用
.Chuck之.Zoom Stereo Body( 0.7X - 4.5X )
.Eye Piece( 10X,可选用 20X)
.Focusing Slide Holder
.LED Annular Light
.CCD检测萤幕显示探针相关位置
.龙门式大范围显微镜 X - Y 移动行程
.适合 Probe Card 规格: 8" 、 12" 、 18"
.机台:配用於大/小尺寸Probe Card双排螺旋孔规格之花岗岩基座
.尺寸: 350 mm X 550mm
.旋转平面度控制 10 um 以内
.载台平面精度 5 um 以内
.日本精密级滑轨,精密度 < 1.0 um
.C5 等级精密螺杆(18 um @ 100 um) 重复性: 1 um
.花岗岩盘面,表面镜面可研磨,可180度旋转(可选择金属结构台面)
.搓针机台附装 MASKE Shuttle Devise,可兼具反相调针之弹性使用
.Chuck之.Zoom Stereo Body( 0.7X - 4.5X )
.Eye Piece( 10X,可选用 20X)
.Focusing Slide Holder
.LED Annular Light
.CCD检测萤幕显示探针相关位置
.龙门式大范围显微镜 X - Y 移动行程
.适合 Probe Card 规格: 8" 、 12" 、 18"