自動搓針機
操作容易穩定、適合各種類型之探針卡搓針
產品規格
.機台:配用於大/小尺寸Probe Card雙排螺旋孔規格之花崗岩基座
.尺寸: 350 mm X 550mm
.旋轉平面度控制 10 um 以內
.載台平面精度 5 um 以內
.日本精密級滑軌,精密度 < 1.0 um
.C5 等級精密螺桿(18 um @ 100 um) 重複性: 1 um
.花崗岩盤面,表面鏡面可研磨,可180度旋轉(可選擇金屬結構檯面)
.搓針機台附裝 MASKE Shuttle Devise,可兼具反相調針之彈性使用
.Chuck之.Zoom Stereo Body( 0.7X - 4.5X )
.Eye Piece( 10X,可選用 20X)
.Focusing Slide Holder
.LED Annular Light
.CCD檢測螢幕顯示探針相關位置
.龍門式大範圍顯微鏡 X - Y 移動行程
.適合 Probe Card 規格: 8" 、 12" 、 18"
.機台:配用於大/小尺寸Probe Card雙排螺旋孔規格之花崗岩基座
.尺寸: 350 mm X 550mm
.旋轉平面度控制 10 um 以內
.載台平面精度 5 um 以內
.日本精密級滑軌,精密度 < 1.0 um
.C5 等級精密螺桿(18 um @ 100 um) 重複性: 1 um
.花崗岩盤面,表面鏡面可研磨,可180度旋轉(可選擇金屬結構檯面)
.搓針機台附裝 MASKE Shuttle Devise,可兼具反相調針之彈性使用
.Chuck之.Zoom Stereo Body( 0.7X - 4.5X )
.Eye Piece( 10X,可選用 20X)
.Focusing Slide Holder
.LED Annular Light
.CCD檢測螢幕顯示探針相關位置
.龍門式大範圍顯微鏡 X - Y 移動行程
.適合 Probe Card 規格: 8" 、 12" 、 18"